micropump

[برق و الکترونیک] ریز پمپ پمپ کوچک سازی شده ای که با روشهای ریز ماشینکاری ساخته می شود و جزو گروه ریز محرکها است . دیافراگمها می توانند با استفاده از پوسه های پیزو الکتریک، نیروهای الکتروستاتیک یا انبساط حرارتی حرکت کنند . ریز پمپها می توانند در تحقیقات پزشکی کاربرد داشته باشند .