micromachining

[برق و الکترونیک] ریز ماشینکاری تولید حسگرها و محرکها ی با ابعادی در مقیاس میکرومتر با استفاده از روشهای تولید مدارهای مجتمع، مراحل تولید شامل پوشیده سازی فتولیتوگرافیکی، نشاندن و زدودن شیمیایی می شود . در میان قطعاتی که به عنوان نمونه های تحقیقاتی و آزمایشگاهی ساخته شده اند می توان به موتورهای الکتریکی و حتی یک وسیله نقلیه بسیار ریز اشاره کرد. محصولات عملی که اکنون در حال تولید هستند عبارتند از شتاب سنجها حسگرهای فشار، انژکتورهای سوخت و نازلهای جوهر افلشان . بیشتر این قطعات از سیلیسیم یا الومینیمنشانده شده بر روی سیلیسیم ساخته می شوند . ولی از الماس نیز به عنوان ماده ی خام استفاده شده است . این فرایند به دو دسته حجمی و سطحی تقسم می شود .